PHS-A
高信頼型圧力変換器 （スパッタゲージ式）
- 推奨分野:
容量帯 200k〜20MPa abs
PHS-A
本圧力センサは、スパッタリングとフォトリソグラフィ技術により、薄膜ひずみゲージと温度補償用抵抗膜を同一ダイアフラム上に直接形成して温度補償を行い、高温にても温度補償が精度良く行うことができます。
特長
- 高温・低温両用
- 絶対圧測定可能
- 優れた高温特性
※TEDS対応品も製作可能です。 お問い合わせ ください。
関連PDFダウンロード
- PHS-A (893.46 kB)
- 高信頼型圧力変換器 PHS-A 取扱説明書 (355.17 kB)
仕様
| 型式名 | 定格容量 | 固有振動数（約） |
|---|---|---|
| PHS-2KA | 200kPa abs. | 5kHz |
| PHS-5KA | 500kPa abs. | 7kHz |
| PHS-10KA | 1MPa abs. | 20kHz |
| PHS-20KA | 2MPa abs. | 30kHz |
| PHS-50KA | 5MPa abs. | 50kHz |
| PHS-100KA | 10MPa abs. | 70kHz |
| PHS-200KA | 20MPa abs. | 100kHz |
性能
| 定格容量 | 表参照 |
| 非直線性 | ±0.2％RO以内 |
| ヒステリシス | ±0.2％RO以内 |
| 定格出力 | 1.5mV/V（3000×10 －6 ひずみ）以上 |
環境特性
| 許容温度範囲 | －196～230℃ |
| 温度補償範囲 | －30～200℃ |
| 零点の温度影響 | ±0.02％RO/℃以内 |
| 出力の温度影響 | ±0.015％/℃以内 |
電気的特性
| 許容印加電圧 | 15V ACまたはDC |
| 推奨印加電圧 | １～10V ACまたはDC |
| 入力抵抗 | 750～1000Ω |
| 出力抵抗 | 750～1000Ω |
| ケーブル |
0.3mm
2
､4心シールドふっ素樹脂5m、外径5mm､先端むきだし （シールドは本体に接続されていません） |
|
0.3mm
2
､4心シールドふっ素樹脂5m、外径5mm､先端むきだし （シールドは本体に接続されていません） |
機械的特性
| 許容過負荷 | 150％ |
| 固有振動数 | 表参照 |
| 材 質 | 本体 SUS金属地肌、接液部SUS630 |
| 質量 | 約150ｇ |
| 取付ねじ | Ｇ3/8おねじ |
標準付属品
ガスケット（軟銅）
正しくお使いいただくために
搬送波周波数の高い動ひずみ測定器（DPM-602,603,612,613,712,713,752,912,913）では,
まれに定格出力の仕様を満足しないことがあります。
できればDPM-601,611,711,751,911または,シグナルコンディショナCDV-700Aをご使用になるか,
組合せ校正をご依頼ください。
